微纳制备相关设备
以半导体芯片和传感器制造为核心，研发出集设计、生产、测试、喷镀等整套的解决方案，可用于功率电子器件、传感器、光电子器件、微波电路及其他新型电子元器件的单、双面对准及曝光工艺，对于半导体元器件设计研发起到有力支持。
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